二手 NOVELLUS CONCEPT One #9226320 待售

NOVELLUS CONCEPT One是一种反应堆，用于金属和电介质等基材的沉积和蚀刻。它配备了高频电容耦合等离子体（HFCP）、模块化晶圆级工艺模块等几个先进特性。该反应堆兼具高通量生产率、低拥有成本和小占地面积，是研究和生产应用的理想选择。该反应堆的设计提供了高通量、沉积环境精确控制和精密工艺配方的完美组合。HFCP源提供了更高的离子密度和更大的蚀刻元件深度，从而提高了工艺精度和速度。HFCP源还提供了根据特定需求定制工艺参数的能力。利用NOVELLUS CONCEPT ONE反应堆的精确功率控制、反应物供应的精确控制和沉积环境的精确控制，用户能够产生高纵横比的一致、均匀的薄膜材料沉积。反应堆还配备了模块化晶圆级工艺模块。这为晶片级操作提供了精确的控制和灵活性,如计量、成像、喷涂和沉积。反应堆还与几个附件兼容，如Process Veinless Systems、真空传输模块、气体输送系统和可变角度线圈源。反应堆的一个重要特点是其快速的工具设置和短周期时间，从而实现最大的生产力。此外,它易于操作,并且在开发新流程时具有很大的灵活性。CONCEPT One反应堆提供精确度、性能和成本效益的绝佳结合，非常适合各种研究和生产应用。反应堆具有先进的特点和灵活性，是创建和实施可靠、可复制和具有成本效益的加工和沉积的理想工具。