二手 NOVELLUS CONCEPT One #9226321 待售

NOVELLUS CONCEPT One反应堆是半导体制造设备中革命性的新设计。它是革命性的一步式CVD（化学气相沉积）工具，将湿蚀室、沉积室和基板加热器的性能结合在一个紧凑的设备中。NOVELLUS CONCEPT ONE反应堆设计为提供卓越的工艺温度均匀性和高度的工艺控制。CONCEPT One反应堆使用旋转室平台，由电动机驱动，用沉积源材料蒸馏出的反射液体均匀地覆盖基板。然后使用高效燃气石墨加热器快速准确地加热温暖的基板，然后基板进入沉积室。在这个室内，物质被沉积在基板上，温度和气体流动得到精确的控制和监测。高速联锁和等离子体给药也被纳入旋转循环，以优化过程。CONCEPT ONE反应器还具有先进的X-Y扫描系统，该系统经过优化，以达到最大程度的过程均匀性和可重复性。这个单元可以让腔室平台被精确编程，可以在任何方向扫描，操作员可以快速方便地控制过程。该平台还可用于跟踪沉积过程中的基板和工艺温度，使过程得以即时监测和调整。NOVELLUS CONCEPT One反应堆设计为提供卓越的温度均匀性和过程稳定性，同时允许操作员更大的灵活性和控制。它是半导体制造的理想选择，因为它可以处理大多数沉积过程，包括CVD、ALD和PECVD。该设计还使反应堆清洁和维护能够更快、更有效地进行，最大限度地减少停机时间，延长机器寿命。这种可靠且性能良好的设计深受半导体行业许多人的信赖,可从NOVELLUS Systems获得。