二手 NOVELLUS CONCEPT One #9243883 待售

NOVELLUS CONCEPT One是以创新技术和设计为动力的高性能单晶圆反应堆。该反应堆具有卓越的工艺灵活性、更快的循环时间和更好地利用昂贵的晶圆厂空间。反应堆由一件式固定室和六轴运动平台组成，最大可达10英寸。该室的建造和设计是为了确保不会有颗粒污染的危险，并用静电接地的PEEK墙建造。该反应堆具有6.5英寸的抽水和隔离抽水区，具有集成的主动通风。为了提供卓越的工艺灵活性,NOVELLUS CONCEPT ONE配备了高速工具更换功能。可以换用单晶片、双晶片处理等不同配置。温度均匀性由水冷板保持，这也保证了低热质量环境。CONCEPT One能够以可变、速度和准确性执行多达1000种食谱和所有食谱。CONCEPT ONE由多轴运动平台提供动力,并具有强大、准确和可靠的控制。其强大的运动套件包括10轴高速运动模型，以及低、高力惯性轴配置。每条轴可提供高达200毫米/秒的直线转速和150°C/秒的转速。这使设备可以同时执行多个操作,从而显着减少周期时间并提高生产率。此外,为了最大限度地利用昂贵的晶圆厂空间,NOVELLUS CONCEPT One被设计为一个集成的封闭式系统,其中包含并连接了所有组件。控制单元的设计是为了确保最高的精度、准确性和自动化水平。NOVELLUS CONCEPT ONE是高性能、灵活、可靠流程的理想机器。它提供了卓越的工艺灵活性、更快的周期时间和更好的利用昂贵的晶圆厂空间,同时保持了温度均匀性和卓越的性能。