二手 NOVELLUS CONCEPT One #9255441 待售

NOVELLUS CONCEPT One是一种先进的化学气相沉积（CVD）反应器，使高性能薄膜材料得以生长。它采用先进的控制逻辑软件,具有业界领先的工艺能力和高效的生产控制功能。NOVELLUS CONCEPT ONE由高级上室和下室组成。上腔室装有低压RF/DC等离子体源，利用先进的补偿和辐射控制技术，在晶圆表面提供异常均匀性。下腔配有两个直接气相沉积的生产源。这可实现卓越的薄膜沉积,非常适合IC、MEMS、LED和其他设备。CONCEPT One还设有射频（RF）发生器来管理等离子粉。这有助于有效控制生产质量,并最大限度地减少产品收缩。真空密闭室提供了更强的沉积性能和产品保护，以及过程稳定性。CONCEPT ONE是为了极致的效率和过程控制而设计的，使它可以使用铝、铜、氮化硅和氧化硅等一系列材料。这使用户能够在整个IC和MEMS市场中存放符合严格要求的薄膜层或纳米结构。此外,NOVELLUS CONCEPT One还配备了智能温度和压力分析系统,以增强沉积过程。除了可靠的质量生产和工艺外,NOVELLUS CONCEPT ONE还提供卓越的成本效益。先进的CVD技术和编程，以及高效的生产控制系统相结合，为用户提供具有成本效益的薄膜沉积。这有助于用户减少周期时间和材料成本,同时保持优质生产。CONCEPT One是一种可靠高效的CVD反应器，能够促进高性能薄膜材料的生长。它是为极致效率和过程控制而设计的，并配有先进的射频/直流等离子体源、两个生产源和一个射频发生器。它还具有智能温度和压力分析功能、成本效益和质量生产水平,可满足IC和MEMS行业最严格的要求。