二手 NOVELLUS CONCEPT One #9262615 待售

NOVELLUS CONCEPT One是一种CVD（化学气相沉积）反应器，设计用于半导体器件的均匀、可重复处理。这台机器于2004年首次推出，成为半导体及相关行业的热门选择。其特点包括工艺重复性优越，操作成本低。其性能在以后的每个版本中都得到了改进,目前的设计提供了更高的吞吐量和更好的过程控制。NOVELLUS CONCEPT ONE的核心是它的过程室。这是一个带凹槽的不锈钢衬里腔室，允许放置多个工艺晶片。腔室受热控制，压力范围可调。它还配备了一个快速疏散系统，可以让腔室立即撤离，这是启动沉积过程所必需的。CONCEPT One还具有等离子体源，用于启动化学气相沉积过程。该源产生一种单原子气体，又称等离子体，被加热并通过工艺室。这种等离子体与所需的材料相互作用，将材料传递到晶圆上。此过程极为均匀,每层厚度相同。CONCEPT ONE的其他特点包括流程监测和控制，以及集成的数据采集系统。这种数据采集系统允许实时观察沉积过程，使工程师能够从头到尾监控整个过程。简而言之,NOVELLUS CONCEPT One是一种可靠、低成本的CVD工具,可提供卓越的重复性和过程控制。它是一个备受推崇的设备，许多工程师和工艺工程师推荐它的灵活性和出色的结果。这反过来保证了它在半导体行业的反复普及。