二手 NOVELLUS CONCEPT One #9266473 待售

NOVELLUS CONCEPT One是一种用于化学气相沉积（CVD）的沉积反应器，在基材上形成薄膜层。它采用先进的技术设计，能够在大面积上实现精确的层一致性和均匀性。反应堆利用高能电子脉冲、低能光子以及精确的温度和压力控制相结合，在CVD过程中控制不同化学物质固相和液相的释放和运动。该反应器利用微调溷合室实现精确的温度和压力控制。溷合室包括一个圆柱形真空容器，周围有精确的气体入口设备、真空泵和温度/压力传感器/控制装置。这允许精确控制反应物气体溷合物。位于反应堆底部附近的气体入口系统允许将气体精确输送到溷合室。此外，NOVELLUS CONCEPT ONE利用了几个先进的组件来实现对快速能量爆发的精确控制。这包括电子束枪，产生高能电子爆发，在反应物分子进入腔室前将其分解。它还包括一个发光二极管（LED）单元，产生低能光子，促进反应物分子的反应而不对底物造成损害。在操作中，CONCEPT One首先是用必要的反应物气体和底物来制备。然后，电子束枪产生一个聚焦束，在反应物分子进入溷合室之前将其分解。LED机器产生快速促进反应物分子反应的低能光子。最后，溷合室的精确温度和压力控制使得反应物分子在底物上的均匀分布成为可能。与其他CVD反应堆相比,CONCEPT ONE沉积反应堆具有许多优点.其精确的温度控制保证了在不牺牲反应物气体溷合物的情况下在大面积上均匀的层状和均匀性。其电子束枪和LED工具大大减少了时间浪费，在不影响基材化学性质的情况下实现了快速、高效的沉积。最后，它的气体入口资产提供了对气体的精确控制，确保了密集甚至层状。