二手 NOVELLUS CONCEPT One #9268771 待售

NOVELLUS CONCEPT One是处理半导体晶圆的先进工具。它是为在半导体工业中高生产率的介电蚀刻和沉积应用而设计的。NOVELLUS CONCEPT ONE反应堆是性能、灵活性和成本的完美结合。它提供了可靠、经济高效的经过认证和完全兼容的300 mm晶圆解决方桉的生产。CONCEPT One反应器是一个单晶片工艺室，由热导电不锈钢构成。配备精密气流控制，等离子体生成均匀。它设计用于在整个晶片表面上进行极其均匀的自动调整,从而允许该过程保持在目标上,而不管晶片的数量或整个晶片的数量如何。该工艺室还提供出色的工艺可重复性和污染物控制，包括金属和微粒。反应堆还设有动态气体控制，它可以独立调整流量和温度，每次都允许最佳工艺条件。这提供了出色的过程一致性、剂量顺应性和周期缩短时间。CONCEPT ONE反应器还具有自动热压控制（ATPC）功能，确保腔室始终保持正确的工艺水平以获得最佳效果。它还提供了实时监控和过程控制系统（PMC）,可以更好地分析性能趋势和过程优化。反应堆采用各种工艺配方和工具，以适应半导体行业的不同需求。它还与一些行业标准的设备和配置兼容，包括平台自动化、晶圆传输和装卸系统、真空泵、气体输送系统和安全系统。总体而言，NOVELLUS CONCEPT One反应堆是一种用于半导体晶片高效加工的最先进的工具。它通过精确的过程控制提供可靠且经济高效的性能。此外,它的工艺配方和自动化功能提供了高度的灵活性,使其适合许多不同的应用程序。