二手 NOVELLUS CONCEPT One #9268776 待售

NOVELLUS CONCEPT One是半导体工业中独特的创新反应器，用于蚀刻和沉积应用。NOVELLUS CONCEPT ONE利用射频源创建的高频等离子体，以及具有创新读出设计的感应耦合线圈，创造出均匀、精确的材料蚀刻沉积。这种先进的功能允许更有效的蚀刻、沉积和清洗过程，以及更高的产量和更可靠的产品。概念一利用两个感应耦合的独立线圈，通过反馈回路连接在一起。这提供了高质量、均匀和可重复的蚀刻和沉积速率，从而导致更高的产量和更低的工艺产量。高沉积速率保证了蚀刻层和沉积层均匀，质量优良。两个感应线圈各有一个单独的阴极接口单元（CIU）。这样可以灵活地独立设置每个感应线圈设置,从而产生可调谐的蚀刻和沉积速率。此外,可以将CIU编程为为蚀刻过程提供用户定义的设置,从而确保精度和可重复性。CONCEPT ONE的另一个独特特点是其获得专利的低温降等离子体生产设备。传统系统在沉积过程中往往会出现高温下降，导致蚀刻均匀性问题，从而显着降低产量。NOVELLUS CONCEPT One利用低温下降机制大幅降低温度下降，从而提高吞吐量和产量。除了改进的工艺外，NOVELLUS CONCEPT ONE还大大缩短了半导体制造作业的维护时间。该系统是有线的，是自我监控，使得它几乎没有维护。高级维护软件允许工程师运行诊断程序,而无需进入设备的操作区域,从而减少了停机时间。总体而言，CONCEPT One是一种创新的反应堆，旨在提供最终的蚀刻、沉积和清洁工艺，最大限度地提高产量和工艺时间，同时将维护时间保持在最低限度。其先进的特性，如低温等离子体生产和用户定义的设置，使这台机器成为半导体制造商的稳健可靠的选择。