二手 NOVELLUS CONCEPT One #9288077 待售

NOVELLUS CONCEPT One反应堆是一种半导体加工工具，设计用于制造先进、高需求的微电子元件。该反应器的特点是能够在均匀薄膜材料的沉积过程中，即使在大面积上也能提供一致、可重复的结果。这一设备提供了一个以前无法达到的精度和控制水平，以设备制造得益于一些创新的特点，如它的专利双区域流动架构。双区流动设计用于精确定义源材料和惰性气体流动特性，从而可以更好地控制产生的薄膜和沉积速率。为了进一步完善沉积过程，NOVELLUS CONCEPT ONE配备了"压力管理系统"，利用主动控制的超低压腔室和集成的源材料淋浴头。这些特点及其实时监测、监控、控制和调节薄膜沉积过程的能力，确保CONCEPT One能够以极高的精度和可重复性处理材料。此外，CONCEPT ONE反应堆的设计满足了广泛的技术要求。该装置配备了一系列原位诊断设备，如车载光谱仪和精密光发射光谱仪。这样就可以对工艺数据进行现场反馈，并监测工艺参数，以提高薄膜沉积质量。现场诊断能力也延伸到以性能为重点的薄膜的开发，因为诊断可以用来优化各种来源材料的沉积参数。这使得工艺效率更高，因为优化的参数可以在未来的生产运行中使用，而无需任何额外的实验。最后,NOVELLUS CONCEPT One具有强大的过程控制机器,能够自动监控沉积过程。这为制造最具挑战性和要求最高的电子设备提供了安全、一致、可重复和经济高效的性能。综上所述，NOVELLUS CONCEPT ONE反应器是一种先进、有效、高度精确的解决方桉，用于在大面积区域内沉积具有卓越均匀性和均匀性的薄膜材料。