二手 NOVELLUS CONCEPT One #9299444 待售

NOVELLUS CONCEPT One是下一代高性能反应堆，旨在为先进的半导体制造提供先进的工艺能力。NOVELLUS CONCEPT ONE反应堆的设计提供了高的工艺产量和最佳的生产率，低热预算，低粒子产生和均匀性。CONCEPT One反应堆采用了微机电结构（MEMS）技术的最新进展，采用了相当于传统反应堆一半尺寸的中尺度容器，实现了前所未有的吞吐量和精确度。CONCEPT ONE反应堆配有集成的真空源和用于高级应用的二级处理室，允许广泛的工艺能力。它能够处理小批量和高通量控制的大晶片，以及提供电子束蒸发、化学气相沉积和溅射沉积等多种沉积技术。为了满足对高精度薄膜涂层的需求，NOVELLUS CONCEPT One反应器有一个独立的、多区的工艺模块，能够实现最高的长宽比沉积。它能够以纳米级精度沉积和蚀刻薄膜，其气体和电力流动系统可以很容易地配置，以适应特定的工艺要求。NOVELLUS CONCEPT ONE反应器的设计在过程测量中提供了极好的均匀性和精确度。它的先进测量能力包括使用先进的基于光学的监测设备，提供精度高达20纳米的读数。反应堆还设有先进的光学计量系统和集成傅立叶变换红外光谱（FTIR）单元，提供完整的分析能力，可用于过程控制和诊断。CONCEPT One反应堆还配备了集成的环境管理机器，允许在多种环境下安全高效运行。反应堆的低热低功率设计可以配置为满足特定的环境要求，其集成的安全特性为工艺安全提供了优化的工具。CONCEPT ONE反应堆是一种先进的高性能反应堆，能够为半导体制造市场提供前所未有的工艺能力。其集成的系统、先进的设计功能和卓越的分析能力使其成为实现最佳产量和生产力的理想工具。凭借其尖端技术，NOVELLUS CONCEPT One反应堆注定将彻底改变这个行业。