二手 NOVELLUS CONCEPT One #9300350 待售

NOVELLUS CONCEPT One是为半导体和其他微电子制造应用而设计的反应堆。它是一种沉积和蚀刻产品线,旨在为要求苛刻的过程提供无与伦比的精度、生产率和灵活性,如晶圆缺陷（表面缺陷）还原、Poly-Si栅极形成以及铜互连形成和隔离。NOVELLUS CONCEPT ONE反应堆分为三个区域：上部装卸室、加工室和集成前端。上部装卸室可与其余设备隔离，便于维护、进出和维修。该工艺室包括螺旋涡轮泵和低流量装饰阀，允许在不通风的情况下完成多个处理步骤。集成前端有一个高真空门阀门，以及一个原位沉积监控器，用于创建一个受控的环境。CONCEPT One反应堆包含称为"CappCycle"的专有技术，这是一种先进的高频、高功率数字化静电卡盘（ESC）驱动系统。该技术用于降低气体负荷，提高等离子体稳定性。其他特性包括独立的He电源、自动晶圆级压力控制单元、数字离子源谐波控制以及高可靠性的周期末锁定机。CONCEPT ONE反应器被设计为在广泛的工艺条件下提供卓越的沉积均匀性和工艺产量。此外，反应堆的设计目的是提供非常低的热预算，从而减少热损害并改进工艺控制。此外,专有的CappCycle技术使等离子体能够持续运行,从而提高了过程的可重复性并降低了耗材成本。最后，NOVELLUS CONCEPT One反应器是一种独特的沉积和蚀刻工具，为先进的微电子和其他半导体应用提供业界领先的精度、生产力和灵活性。其先进的工具和技术（如CappCycle）提供了卓越的统一性、可重复性和热预算,同时将成本降至最低。