二手 NOVELLUS CONCEPT One #9364375 待售

NOVELLUS CONCEPT One是一种最先进的化学气相沉积（CVD）反应器，旨在提高半导体晶圆厂工艺的产量和吞吐量。反应堆采用独特的低压气相沉积工艺，利用各种形式的化合物在半导体晶片上形成保护性和反应性SiO2层。该设备的主要特点包括双区、单级反应室、软启动阀系统、可编程脉冲阀和脉冲气体喷射单元，使其能够提供一致、高质量的化学和物理结果。反应室由两个不同的区域组成，由一系列挡板隔开，以控制过程流动。第一个区域由化学化合物注入反应室的区域组成，第二个区域是化合物反应沉积到晶片上的区域。这使用户可以更好地控制沉积过程中的反应条件，提高加工效率，缩短工艺时间，提高反应堆的收率。软启动阀机提供了过程压力的逐渐增加，允许在处理过程中有更大的灵活性，从而提高了刀具的效果。它还可以防止潜在的过程流量变化，因为反应堆内的压力不会突然上升。可编程脉冲阀设计用于非常精确及时地注入化学物质，以准确控制腔室内的反应条件，从而提高晶圆厚度均匀性。脉冲阀结合脉冲气体注入资产，使用户能够精确计时气体和化学品的输送，让他们能够轻松调整加工条件，以优化设备性能。NOVELLUS CONCEPT ONE的设计使用户能够同时执行低批量和大批量生产运行,同时提供一致的性能和可靠性。反应堆能够处理各种晶圆尺寸，以及晶圆几何形状的差异，使用户能够灵活地生产不同尺寸和形状的设备。总体而言，CONCEPT One是一种高度通用和可靠的CVD反应堆，用于制造晶圆，为用户提供更高的效率、更短的工艺时间和更好的产量。