二手 NOVELLUS CONCEPT One #9377870 待售

NOVELLUS CONCEPT One Reactor是用于集成电路制造的薄膜电子沉积的革命性工具。它采用旋转、热和化学工艺的组合，以高速率精确沉积薄膜，从而提高生产率，增强均匀性，改善膜性能。反应堆的设计目的是使薄膜沉积在各种材料上，包括用于半导体制造和化学气相沉积的材料。NOVELLUS CONCEPT ONE Reactor的旋转盘具有一个圆柱形，水平取向的中心，直径可达6英寸。蓝宝石盘安装在旋转中心，允许精确的薄膜沉积。反应堆包括一个热源，无论是电阻系统还是感应系统，以在整个热沉积范围内保持精确的温度。散热系统可以是干燥的，也可以是湿的，可以通过精确的加热或冷却来调节。另外，二次热源可用于实现更高的均匀性和更高的沉积速率。反应堆还包括一个化学源，它可能是一个单独的化学源或同时利用热源和化学源的组合源。化学来源包括一个化学输送系统，允许精确控制化学存在，并允许化学溷合物输送到底物的所有区域。此外，CONCEPT One Reactor还提供了许多增强薄膜沉积的功能。根据底物和所需的膜，反应器可以配置为化学和热沉积，或两者的组合。此外，反应堆提供自动化、准确的校准和诊断，以确保精确的沉积结果。CONCEPT ONE Reactor是现代、高速沉积薄膜材料的绝佳工具。它提供精确的温度和化学控制，使各种基材能够以提高均匀性和提高生产率的方式进行加工。