二手 NOVELLUS Inova NExT #9236710 待售

NOVELLUS Inova NExT（Next Generation Extrusion）是一种革命性的先进沉积反应器，旨在提供超精确的薄膜厚度控制，提高工艺均匀性和均匀的沉积速率，同时还提供可重复材料的行为和高容量的制造要求。该系统利用源处的介电捕获和先进的反应性和惰性气体流动控制，将纳米级材料精确喷洒到极均匀的基板上。NExT采用高频、低功率射频信号（13.56 MHz），采用具有集成气体输送和底层基板夹紧装置的双腔室配置，使反应性气体能够在进入腔室时被激发。由此产生的反应产生高能等离子体，利用滞留在介电材料中的干电荷困在反应堆的中心堆芯，并均匀地分布在整个空腔中。材料在基板上的沉积是完全均匀、可复制和可控的。NExT反应堆的射频发生器可以以峰值或连续模式部署，以尽可能高的吞吐量提供所需的薄膜厚度和均匀性。该系统采用软件控制，对介电捕获、反应性气流、基板夹紧装置等参数提供实时反馈。利用这些数据，可以创建和精确优化配方，以提供微粒生成和高沉积速率的超薄膜沉积。NExT非常适合各种材料应用。这些包括高k电介质、多层电容器（MLC）、低k电介质、屏障和SLIM®电容器。由于生产就绪的内存堆迭拓扑结构现在已接近32层,因此此系统提供了在单个模具中实现前所未有的性能和集成级别的可能性。Inova NExT为设备制造商和最终用户提供了显着的优势。其独特的功能,加上满足设备结构完整性、电源性能和扩展/分层生产要求的能力,创造了一种能够降低拥有成本并为产品增值的解决方桉。