二手 NOVELLUS Inova NExT #9281285 待售

NOVELLUS Inova NExT是一种多室化学气相沉积（CVD）反应器，专门设计用于生产具有先进材料和工艺的高密度结构。这款先进设备为下一代半导体芯片和高性能电子应用提供了无与伦比的产能。Inova NExT CVD反应堆由几个独立控制的腔室组成，具有模块化结构。该设计允许按顺序或同时运行多个CVD进程。这样可以在研发应用程序中实现最大的过程灵活性和效率,并且可以生产高级设备结构以实现最大的产量优化。NOVELLUS INOVA NExT CVD反应堆利用先进的浸入式、超薄晶圆载体,在加工过程中对基板的热失真最小。先进的晶圆载体设计结合了其基板的摆出卸载。此外,先进的设计使制造商能够在每个腔室创建精确的温度控制功能,从而提高工艺精度和可控性。Inova NExT CVD反应堆设有高性能水平和垂直插槽，允许材料沉积到基板两侧。这样可以在基板上实现更大的材料均匀性,直接导致缺陷密度降低,设备和结构质量更高。此外，数字的垂直方向为先进的材料沉积提供了优势，包括增强了深沟应用的间隙填充。配备了先进的控制系统和超响应传感器，NOVELLUS Inova NExT CVD反应堆提供了最高水平的工艺性能。精密的控制单元提供了每个腔室内独特的流量控制和温度设置精度，提高了吞吐量和性能水平。Inova NExT CVD反应堆提供了工艺半导体开发和生产的最新进展。这台先进的机器为高性能半导体应用提供了极致的可重复性精度、可控性、吞吐量和成本效益。此外,该工具还提供卓越的环境性能,在清洁环境中完全符合操作和安全要求。