二手 NOVELLUS Inova NExT #9283648 待售

NOVELLUS Inova NExT是一种最先进的先进晶圆加工设备,专为高产量和低拥有成本而设计。它具有创新的环形腔室设计，能够实现高性能沉积过程，同时降低系统的总拥有成本。它非常适合需要高通量和/或多种沉积过程组合的应用,或具有大于标准尺寸的晶圆的应用。Inova NExT由许多先进部件组成，包括NEXt-Gen环形反应堆，一种具有专利环形间隙的高温沉积工具。这种设计允许通过广泛的工艺参数和温度对基板进行均匀加热和沉积材料。该工具还具有优化的薄膜均匀性和比标准工具更高的沉积率能力。NOVELLUS Inova NExT还具有先进的温度控制单元和基板冷却机，能够在工艺室内保持均匀的温度分布，并提供晶圆与沉积区之间的有效传热。这样就可以在流程的每个步骤进行质量控制,从而确保统一的结果。该工具还提供集成数据管理、远程访问和高级流程控制套件等高级自动化功能。NEXt-Gen环形反应堆利用氮-氮溷合物作为载体气体，提供安全、惰性的气氛，帮助工具实现高性能、精确的沉积过程。该设计还使资产能够轻松地进行扩展,以实现更大的工艺种类和更大的产量。除了NEXt-Gen环形反应堆之外，Inova NExT还包括一个可调蚀刻工具。该工具使用了获得专利的射频信号和统一的工艺配方，以确保精确蚀刻，而不需要任何手工调整蚀刻参数。这允许高精度蚀刻过程，并降低晶圆损坏的风险。NOVELLUS Inova NExT是满足当今晶圆处理需求的理想技术,可提供可靠的性能、更高的吞吐量和节省成本。它非常适合多种应用，包括高级封装、介电沉积、3D器件生产、微加工等等。