二手 NOVELLUS Inova NExT #9313086 待售
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NOVELLUS Inova NExT是用于制造集成电路（IC）的半导体加工反应堆。它是由高精度晶圆传输模块和处理室组成的先进多晶圆处理系统。晶圆传输模块有助于晶圆在处理室和晶圆缓冲区存储以及其相关的处理工具之间移动。处理室与一个或多个关联的处理工具配合使用,以实现多个晶片的并行处理。Inova NExT使用两种截然不同的工艺气体来沉积和蚀刻薄膜并进行平版印刷图样。两种气体分别是用于沉积薄膜层的三氟化氮（NF3）和用于蚀刻层的六氟化硫（SF6）。板载质量吞吐量（MT）系统控制和监测这些加工气体的输送。输送控制采用气体分子"分数共享"的专有方法进行管理，这种方法允许气体在超精细水平的多个流动方向上快速扩散。NOVELLUS Inova NExT的高级功能还包括多气体模块，它同时提供NF3和SF6气体控制的组合，以及一个特殊的控制模块，允许用户同时溷合和控制多个过程气体的输送。此外,这种超精密的工艺室提供了先进的温度和均匀性处理,可确保薄膜层的完整性及其所需的电性能。除工艺技术外，Inova NExT包括一套专有软件工具，用于编程和控制工艺室的操作条件。这包括远程监测、控制和调整所有气流的功能,以及数据记录、数据归档、配方管理、环境管理和流程控制。总体而言，NOVELLUS Inova NExT为晶圆处理提供了一个稳健且高度精确的平台，允许开发复杂、高性能的集成电路。其先进的工艺技术和软件工具确保了复杂集成电路的可靠制造，并具有可重复和可预测的性能。
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