二手 NOVELLUS Inova XT #293757055 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 293757055
晶圆大小: 12"
PVD System, 12"
Mainframe
EFEM
(6) Chambers
(4) AC Racks
(14) RF Racks
Power rack.
NOVELLUS Inova XT是一种高通量、高生产率的反应堆设备，是一种在超薄介电沉积行业的催化剂。本文针对独特的掺碳二氧化硅膜和ha基膜等介电膜的沉积进行了设计和优化。它提供了任何系统最高的生产率和最低的拥有成本，并且可以生产出最高的薄膜质量和最低的成本每晶圆。Inova XT利用先进的等离子体增强化学气相沉积（PECVD）工艺沉积薄膜。该机组采用低压工艺室、RF线圈和专利高保真微波输送机，确保等离子体均匀生成。这使得它能够达到最佳的均匀性和薄膜性能，这是薄介电膜生产的关键要求。NOVELLUS Inova XT还包括几个独特的功能，包括先进的脉冲偏置基板支撑和计量工具，先进的"热交换"和"耐力"技术，以及高效的"酷烧"熔饼资产。这些特性使其能够提供具有出色的薄膜均匀性和无缺陷性能的薄膜沉积。Inova XT模型还提供了广泛的过程控制、灵活性和监控功能。它的集成用户界面允许远程或现场管理,使其成为生产运行或过程优化实验的理想选择。此外,它还提供多种工艺配方,使其能够容纳多种薄膜类型和工艺。总体而言,NOVELLUS Inova XT提供了同类产品中最高的性能、生产效率和过程控制级别。其先进的特点和坚固的设计使其成为寻找极致薄膜沉积设备的制造商的理想选择。它非常适合各种纤薄电介质沉积应用，并提供极好的投资回报。
还没有评论