二手 NOVELLUS Inova XT #9354273 待售

NOVELLUS Inova XT是一种半导体晶圆处理反应器，提供一流的过程控制和自动化。它旨在满足业界对高性能平台的需求,该平台能够通过改进的平面化、过程控制和可重复性提供生产性晶圆处理。Inova XT具有高频驱动器电源,可加快处理速度。其深层反应性离子蚀刻（DRIE）技术可实现更高的长宽比和更高的步高,并可用于制造各种光电、微电子和MEMS器件的复杂轮廓的微结构。反应堆配备了多种配件，如高功率射频发电机、温度控制器、精确pH指示器、自动托盘和瓶装系统以及机械臂。机械臂协助远程装卸晶片进出反应堆，有助于最大限度地减少交叉污染。NOVELLUS Inova XT设计用于集成到一个工业环境中,其中包含多个模块和腔室,可确保并维护其清洁度和安全性。它配备了先进的流程控制系统,可确保流程的一致、安全和可重复执行,同时用户友好的控制系统可最大限度地减少维护和操作所需的工作人员时间。该反应器还被设计为在氧化物、氮化物和多晶硅层的沉积和蚀刻方面高效。其多室、晶圆级的可编程环境使得高质量层的沉积和蚀刻具有氮化物、氧化物、多晶硅和多层组合。Inova XT平台提供低成本、低维护、过程兼容和可重复的系统以及集成的机械臂,可实现高效自动化。该反应堆的设计能够以可扩展和模块化的方式产生出色的表面平面化、高工艺重复性和卓越的生产率。它提供了卓越的晶圆吞吐量,同时消除了传统的手动操作和维护。