二手 NOVELLUS Inova XT #9375328 待售

NOVELLUS Inova XT Reactor是一种下一代光刻工具，旨在使半导体微设备的制造成为可能。Inova XT是一种高度自动化的计算机控制设备,能够以快速、高效和可靠的方式执行高级蚀刻过程。该设备旨在提供各种流程,以满足特定的设备和流程要求。该系统由供应模块、加载模块、射频发生器和固化炉组成。供应模块容纳了反应性离子蚀刻所需的工艺气体、酸和清洁溶液。加载模块会自动将基板加载和卸载到静电卡盘上,从而实现基板格式的快速更改。射频发生器利用微波频率提供反应性离子蚀刻和激活多种工艺化学物质。固化炉用于固化和干燥光致抗蚀剂及加工化学物质。NOVELLUS Inova XT使用对蚀刻工艺的精确控制来提供卓越的工艺效率。该装置有广泛的蚀刻工艺，从湿蚀刻到干蚀刻工艺，并支持各种化学和反应。支持氧气、氢气、氙气、ICP、ECR、CMP、石英蚀刻、氟蚀刻等工艺。机器可以量身定制，以满足个别基材和工艺的需要。此外，Inova XT内置了波纹管隔离、腔室风扇动力学、最小化接触基板载荷、气体安全板和反馈过程等安全功能。自动监视器还跟踪流程运行并提供详细的流程分析。为了确保高产量和可重复性,NOVELLUS Inova XT采用了许多高级功能。它结合了传感器接口模块、自动校准、微控制器和集成接口。这一集成工具使反应堆能够快速调整以适应蚀刻过程中的变化，并提供了一个有效的工具来优化跨越一系列基板的工艺条件。总体而言，Inova XT反应堆是一个高度精密、高效和安全的蚀刻反应堆，能够提供精确和可控的蚀刻工艺。NOVELLUS Inova XT的自动化和反馈机制允许快速和可重复的蚀刻过程,集成的资产可确保高收益和可重复性。