二手 NOVELLUS Inova #100556 待售

NOVELLUS Inova，是一种用于半导体制造业的先进化学气相沉积（CVD）反应器。它的特点是具有卓越的能力，能够生产高性能纳米设备和存储芯片等具有一致和均匀厚度的优越的纤维层材料。该机器采用创新设计，内置溅射能力，有助于进一步优化沉积工艺，消除先进半导体器件所需的膜厚度、层均匀性和精度的任何程度的变化。伊诺瓦反应堆采用两区设计，以适应两个工艺温度。第一个区域用于在引入CVD工艺之前预热基板，而第二个区域则是主要的CVD加工区。仅利用两个供暖区有助于节约热能、提高效率和降低运营成本。随着基板从第一层转移到第二层，温度变化最小化，有助于避免热冲击和材料表面损坏。该反应堆还具有一个获得专利的主动温度控制系统（ATCS），它在整个基板表面提供卓越的热均匀性。此外，ATCS由于对CVD工艺中使用的各种气体，包括氧气、沉积气体、卤素气体和其他精选气体进行了先进的实时监测和控制，因此提供了卓越的工艺控制。利用这一功能,用户可以轻松地对流程配方进行即时编程,从而确保流程稳定性,并最大程度地减少流程中气体的难以运输。除了优越的设计外，NOVELLUS Inova还配备了全方位的后工艺清洗工具，如热处理、离子蚀刻、快速热退火等。这允许用户在一次高效的操作中快速完成整个过程，从清洁到沉积。这有助于减少或消除对额外劳动力和资源的需求。总之，伊诺娃是专门为半导体加工业设计的先进化学气相沉积（CVD）反应器。它通过两区设计、主动温度控制系统和全方位的后工艺清洗工具,使制造商能够在高效的过程中取得卓越的效果。因此，对于寻求高效、可靠、过滤和工艺均匀性更好的沉积工具的制造商来说，这是理想的选择。