二手 NOVELLUS Inova #293589650 待售

NOVELLUS Inova是一种等离子体蚀刻反应器，用于半导体器件制造。它利用射频（RF）从气体的溷合物中产生等离子体，将底物暴露于等离子体，然后利用等离子体蚀刻底物。反应堆由具有多个射频电源的四室设计组成。可以为不同类型的蚀刻过程配置各个腔室。反应堆的主室是放置底物进行加工的地方。这个腔室连接到一个气源，通常是一条气体供应线，包含各种气体的溷合物。气体的溷合，压力和温度在这个腔室可以控制，以优化蚀刻过程。在这个腔室中产生的等离子体受到磁场的限制和维持，可以调整等离子体的形状。反应堆的第二室由两个独立控制的射频电源组成。电源可以在频率和振幅上进行调节，以调节等离子体。该电源可用于制造和维持大型、均匀的等离子体。反应堆的第三室由两个"火花塞电极"组成，用于在主室和电源之间产生强电场。这个电场可以用来塑造和操纵主腔内的等离子体。最后，反应堆的第四室由一个真空系统组成，用来维持主室内部的压力。它在蚀刻完成后从主室抽取气体，消除了意外接触有害物质的风险。总体而言，Inova是一种先进、可靠的等离子体蚀刻反应器，可用于多种蚀刻工艺。它的各个腔室可以配置用于不同的蚀刻过程，其动力源可以用来产生和操纵大的、均匀的等离子体。此外，它的真空系统保证危险物质永远不会暴露在反应堆之外。