二手 NOVELLUS Inova #9188671 待售

NOVELLUS Inova是一种模块化原子层沉积（ALD）反应器，设计用于AR/VR/MR显示器、消费电子、光通信和医疗光学等精密光学涂层应用。Inova提供了生产先进光学系统所需的无与伦比的精确度、可重复性和控制（低至0.01微米）。NOVELLUS Inova操作有两个独立的工艺区，并使用加热线性运动传输（LMT）机制进行优越的基板处理。该设计允许在两个过程区域同时处理基板而不会中断。专业的工艺工程确保了节能和材料的最佳利用，同时还提供了优越的电气隔离。Inova采用优化的操作软件,方便用户轻松直观地体验。NOVELLUS Inova包括触摸屏显示屏和定制设计的GUI,用于必要的过程监控和精确控制。系统参数、沉积过程（每个到0.01微米）、配方和设置都可以定制，以满足个别用户的要求。Inova结合了广泛的Advanced Precision Technologies（APT），例如AIRESite System，它可以实现可靠的无缺陷的多层薄膜和涂层，高和超薄膜的低功率共沉积，以及反应性元素沉积（包括ALD）。它还为压力、温度、气流、等离子体、光线等提供了可调的工艺控制设置，从而实现了工艺优化。NOVELLUS Inova采用密封，以降低污染风险，确保最佳涂层精度。它还包括一个强大的散射模块（或目标辐照模块），能够在更大范围的渐逝和高渗透光学元件上进行高质量涂层。Inova专为易于安装而设计,可根据各种实验室和生产环境进行定制。可选的沉积室附件包括一个封闭的样品升降机、可旋转的船和真空供应单元，所有这些都能够在实验室环境中方便地安装、配置和使用。此外,NOVELLUS Inova支持NOVELLUS Service Toolkit,这是一套功能强大的工程和支持工具,使用户能够有效地监视、调试和维护系统。而且，在需要时，NOVELLUS专家可以通过远程诊断来分析和优化流程。对于那些寻求先进、安全和经济高效的精密光学胶片生产解决方桉的人来说，伊诺娃是理想的解决方桉。