二手 NOVELLUS Inova #9188675 待售

NOVELLUS Inova是一个反应室，旨在处理各种高温操作，例如在底物上沉积薄膜和热处理膜。它包括了高效基板加工的所有必要特性，如真空完整性、均匀的温度分布、颗粒清洁能力和高通量。Inova设计用于在惰性大气中处理最高温度额定为1100 °C的高达4英寸的晶圆基板。它具有强大的低真空感应加热系统，能够实现快速加热速率，而不会因热失控而受到污染。此外,坚固的直线加热速率控制机构提供了良好的温度均匀性整个腔室.NOVELLUS Inova的颗粒清洁能力通过多个真空清洗部件的组合，包括涡轮泵和机械旋转泵，以及几个过滤器的组合来确保。室内有效的组合传感器进一步增强了颗粒清洁能力。Inova以其快速的周期时间和较小的占地面积提供了卓越的吞吐量。高度精细的操作软件允许用户对任何操作序列和参数进行编程，使得大量组件的制造成为一项简单的任务。除了易于操作和可靠的性能外,NOVELLUS Inova还具有多种安全功能,例如用于安全和高效能源管理的双壁真空室结构、气体冷却系统、故障安全保护机制和热保护元件。Inova是一个用途广泛且可靠的反应室，具有广泛的应用。它是材料加工的宝贵工具，为在要求苛刻的热过程中操纵基板提供了一个强大的解决方桉。