二手 NOVELLUS Inova #9204137 待售

NOVELLUS Inova是一种化学气相沉积（CVD）反应器，由金属加热室、精密气体控制设备和旋转反应器源三个堆芯组件组成。金属加热室是一种半圆柱形的不锈钢结构，分为两个隔间：下部一个用于基板加热，上部一个用于气动涡轮泵送系统。加热室的下部隔室由带电子卡盘电极的穿孔栅格组成，其作用类似于控制和调节基板加热温度的平台。上舱设有气动和涡轮泵送系统，为化学气相沉积提供了受控环境。Inova反应堆中的精确气体控制单元提供了沉积过程中过程气体的高精度控制。它可以直接控制底物周围的气体分布，有助于优化膜的形成速率和均匀性。气体控制机包括质量流量控制器、安全关闭阀、压力传感器、计量流量阀和微泡流量探测器。要涂覆的底物尺寸和形状可以编程成NOVELLUS Inova反应堆。旋转反应堆源在基板上执行轨道模式运动，从而确保所需薄膜的均匀覆盖。此外，每种沉积气体的压力、流量和温度都可以单独控制，从而可以沉积高度复杂的薄膜。总体而言,Inova是一款可靠且精确的CVD设备。其组分组合和精密控制沉积工艺参数的能力使其成为先进薄膜制造的理想选择。它被广泛的应用，包括半导体、显示器、微电子学和光学。该设备的可扩展性和灵活性也使其具有足够的用途，可用于研发目的。