二手 NOVELLUS Inova #9272601 待售

NOVELLUS Inova是一个革命性的等离子体增强型化学气相沉积反应器，旨在最大限度地提高吞吐量，降低应用成本，如薄膜光电子、薄膜晶体管（TFT）等用于半导体行业的先进材料的沉积。Inova等离子体源是一种专利技术，利用简单可靠的设计产生高能、非热等离子体，可以调整到广泛的等离子体参数和热预算要求。这座反应堆独特的设计还提供了可自定义的粒子加速度，可以与射频或直流电源一起运行。NOVELLUS Inova等离子体源可以在压力高达6 mTorr、温度高达700 C的情况下操作，以产生密度、厚度和均匀性要求最低的器件。反应堆还包括一些额外的特性，如变频和温度斜坡系统，对等离子体环境提供额外的控制。Inova几乎可以与任何气体化学一起使用，包括那些预先结合用于特定应用的气体化学。另外，二元和三元气体化学也可用于精确控制期望的效果和结果。这使得NOVELLUS Inova能够在精度和准确性至关重要的应用中使用。独特的Inova设计还包括一个自清洁功能，它允许化学沉积物在几分钟内从源块中清除。这样可以确保区块不受污染物污染，并使整个过程保持清洁和不受污染。此外，NOVELLUS Inova还配备了多种功能和功能，可用于将系统配置定制到特定的操作和应用程序。例如,定期更新软件以确保添加所有新功能,并确保在要求最苛刻的应用程序中获得最佳性能。综上所述，Inova是一种革命性的等离子体增强型化学气相沉积反应器，为半导体应用提供了卓越的灵活性、准确性和精确度。独特的设计提供了多种变频、温度倾斜和自清洁功能,可用于根据任何特定应用定制系统。最后，该反应堆可靠高效的设计确保了整个过程的清洁和无污染，使其成为一系列半导体应用的理想选择。