二手 NOVELLUS Inova #9284588 待售

NOVELLUS Inova是一种用于大批量生产集成电路的工具。它是一种基于等离子体的多晶片、高精度物理气相沉积（PVD）工具，能够为晶片制造提供先进的沉积能力。设备配备了淋浴头和源-高升力处理能力，旨在实现沉积均匀性提高、厚度控制出色、高通量性能的先进产品沉积。该系统由一个装有几个部件的中央主体组成，包括淋浴头、低k薄膜沉积发动机、低k背面下降发动机、高提升源、工艺室和洗涤器。淋浴台包括一个溷合室，有一个入口和几个排气口。它还具有可调气体扩散板和可调喷嘴，以确保最佳的过程控制。低k膜沉积引擎与高提升源协同工作，提供优越的膜沉积能力。其多区控制技术保证了各种低k薄膜的精密沉积，达到了高导电性、机械稳定性、无针孔或薄膜缺陷等理想性能。低k后侧下降引擎与淋浴头配合工作，以沉积低k后侧下降。这确保了设备的高效隔离,并实现了高级光刻。高提升源负责执行预制造和后制造过程。它配备了几个先进的特点，包括工艺注入单元和均匀调整机。高升力源以高速模式运行，保证高通量性能。该工具的工艺室配备了多个源和一个等离子体火炬，以实现高沉积速率。洗涤器与工艺室协同工作，以清除化学污染物，确保资产符合环境和健康标准。Inova是晶片制造的理想选择，能够沉积具有优异性能的低k薄膜。一次处理多个晶片的能力增加了吞吐量，并且不需要频繁的设备转换。这会降低停机时间并提高生产效率。此外,该模型提供了卓越的精度和可靠性,使其成为大批量生产环境的理想选择。