二手 NOVELLUS Inova #9379268 待售
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NOVELLUS Inova是一个顶级反应堆,旨在满足半导体行业的需求。这座反应堆利用先进的等离子体化学,以高速产生错综复杂的材料层。这座反应堆以其出色的控制能力而闻名,它可以选择快速更换材料批次,同时在整个过程中保持寿命和可重复性。这座反应堆配有先进的监测系统,可以跟踪和调整,以确保每次运行都不受污染。它采用三级腔室清理系统,在整个操作过程中保持腔室清洁,无颗粒。其专有的射频技术进一步增强了工艺,允许对等离子体进行完全控制,并将材料加热到最佳温度以达到最大效果。Inova反应堆还具有直观的用户界面,使其对用户友好,方便有经验和初学者使用。使用图形用户界面,可以根据需要快速输入和调整物料层的要求。系统是模块化的,可以选择根据需要更改或添加组件以进行自定义。其硬件和软件也可以升级,以适应新技术。这种反应器的灵活性使得它非常适合众多应用,如铝溅射、化学气相沉积和纳米级应用。其高速率沉积技术提供了优异的材料层均匀性和高覆盖率。这种提高的一致性和可靠性确保了流程后的质量水平保持不变。NOVELLUS Inova反应堆为各种用户和应用提供了非凡的灵活性和易用性。当与经过验证的工艺配方结合使用时,它可以快速高效地产生无与伦比的结果。高级功能和软件的结合使其成为任何需要一流质量和精确度的操作的绝佳选择。
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