二手 NOVELLUS Inova #9390623 待售

NOVELLUS Inova反应堆是最新的先进反应堆平台，旨在实现超细粒度薄膜的沉积。它采用了一种独特的集成闭环过程控制设备,该设备由NOVELLUS ALETA软件提供支持,可以精确控制整个沉积过程。这一尖端系统使用户能够精确定义包括沉积速率、面积均匀性和薄膜应力在内的薄膜参数，以优化基板性能。伊诺瓦反应堆利用冷阴极火炬产生反应性离子等离子体，连同高频射频源传递均匀的电离气体，以及先进的高性能电子冲击源创造离子自由流动。与单独的静电过程相比，集成磁体持有者使用户能够产生更一致和可重复的过程。集成活性气体输送装置能够精确控制气体的流动和组成，从而提高膜的均匀性和可重复性。NOVELLUS Inova反应器还具有独特的压力控制模块,可提高温度稳定性和均匀性,从而提高薄膜质量。除了先进的工艺控制能力外，伊诺娃反应堆还采用了几种创新的安全协议。利用集成的防爆传感器，用户可以免受室内爆炸气氛的影响。自动关闭机器可防止高压火花对腔室造成潜在损害。增强的腔室保护功能包括改进的热流管理和电源控制,提供更高的热稳定性和冷却能力。NOVELLUS Inova反应堆是一个先进的平台，旨在满足最苛刻的沉积工艺的需求。通过提供先进的工艺控制、改进的安全协议和最佳的热稳定性，伊诺娃反应堆使用户比以往的反应堆平台取得了更好的效果。有了NOVELLUS Inova反应堆，用户可以在更短的工艺时间、更高的吞吐量和更好的薄膜质量上达到他们期望的效果。