二手 NOVELLUS Inova #9390633 待售

NOVELLUS Inova是一种化学气相沉积（CVD）反应器，一种主要用于半导体制造过程的设备。它提供卓越的工艺均匀性、出色的热稳定性和较小几何形状的高吞吐量。它是专为能够处理日益复杂的纳米级集成电路设计而设计的。伊诺瓦反应堆波束由晶圆安装板、射频火炬、火炬天线和气流歧管组成。晶片安装板有助于将晶片安装到反应堆室，帮助提供电力连接和必要的气体。射频火炬加热晶片，为沉积过程创建等离子体，并将气体流动歧管中的反应物气体注入腔室。火炬天线发射高频无线电波，为沉积过程启动和维持等离子体场。气流歧管从源头收集反应气体，并将其转移到反应室中。NOVELLUS Inova独特的设计允许高沉积速率和出色的工艺均匀性。较高的沉积速率和改进的均匀性仅仅意味着可以用较少的工艺步骤和较高的生产率来生产高质量的设备。采用等离子体密度控制和等离子体脉冲调频这两种主要的突破性沉积形式，Inova能够在较高的工艺温度下沉积质量较高的薄膜。它还结合了高端电子产品，包括分布式过程控制技术，使晶片的处理速度更快，精度更高。此外，它的闭环控制器使得实时校准和控制沉积过程成为可能，进一步确保CVD产生的所有层都能准确形成，并且该过程保持一致。NOVELLUS Inova反应堆系统具有多项优势，例如产品质量的提高和周期时间的缩短，使其成为设备制造商有吸引力的解决方桉。Inova是一个高效可靠的处理系统，一直在帮助为明天的半导体产业铺平道路。