二手 NOVELLUS Inova #9399582 待售

NOVELLUS Inova是为半导体材料沉积和蚀刻而设计的反应堆。它基于电感耦合等离子体（ICP）技术，利用高频功率产生等离子体。该反应堆为包括蚀刻、降序和屏障金属工艺在内的各种应用提供了出色的工艺一致性。Inova采用独特的硬件和软件功能,以确保一致的过程一致性和高度的可变性。NOVELLUS Inova的硬件包括一个圆柱形的大功率ICP驱动电感，能够产生高频弧，同时还利用高压产生等离子体。Inova还利用线性射频发电机，重点控制等离子体密度，同时在蚀刻回过程中提供均匀性。此外，NOVELLUS Inova还包括一个"等离子体鼓"，这是一个创新的装置，由石墨材料和嵌入的电极构成，在被加工的基板的整个表面形成均匀的等离子体。这有助于最小化源级别的不均匀性,并防止充电。此外，等离子体鼓允许在等离子体发生器和虚拟电极之间优化间距，从而确保高离子能和产生更好的工艺结果。在软件方面，Inova利用几个功能进一步增强了统一性。这些特性旨在通过监测基板表面和调整等离子体能量输出来优化过程控制，以达到预期的效果。此外，NOVELLUS Inova还利用Endura和Kinetic Sputter Index传感技术精确测量局部蚀刻参数。通过实时和离线过程控制的组合,Inova能够在所有应用程序中实现亚微米精度和可重复性。最后，NOVELLUS Inova是一个基于ICP技术的强大反应堆，在各种应用中提供了卓越的工艺一致性。凭借独特的硬件和软件功能,Inova提供了无与伦比的精确度、准确性、可重复性和可变性,可用于蚀刻、降序和屏障金属工艺。