二手 NOVELLUS PVD Systems #293669939 待售

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製造商
NOVELLUS
模型
PVD Systems
ID: 293669939
晶圆大小: 12"
12".
NOVELLUS PVD Systems,又称物理气相沉积系统,是从电子到汽车等各种行业必不可少的工具。PVD系统用于涂层、金属化和电镀等多种工艺。该过程涉及将金属蒸发涂层涂在工件表面。在采用各种方法将汽化材料引入表面的同时,最常见的是热蒸发过程。NOVELLUS PVD系统主要设计为提供卓越的薄膜均匀性和过程可重复性。这是通过他们先进的计算机控制系统和机器人技术实现的。该系统由真空室、蒸气源、目标三个主要部分组成。真空室是实际过程发生的地方。在这里,环境降低到高真空,以达到所需的基板温度,同时保护工件免受大气污染物的影响。蒸气源通常位于真空室内。在这里,蒸发或溅射过程是由电弧、热丝或辉光放电引发的。所需的金属被放置在蒸气源内,加热到其原子被电离并最终喷射到气相中。这种汽化的材料然后凝结到目标基板上。涂层的特性由温度、压力、原子通量组成等各种工作条件决定。最后,目标基板是汽化涂层的受体。它可以是任何能够承受涂层过程中所需要的热、电子或离子轰击的材料。通常,目标基板非常干净,由耐磨且耐腐蚀的材料组成。PVD系统用途非常广泛,为用户提供了卓越的精确度和可重复性。它们出色的性能和可靠性使其成为许多不同行业的理想选择。随着NOVELLUS PVD Systems的日益完善和提供更大的控制,它们将成为许多不同的涂料和涂料的首选方法。
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