二手 NOVELLUS Sabre 3D #9179871 待售
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ID: 9179871
晶圆大小: 12"
优质的: 2015
Electro chemical deposition (ECD), 12"
Single module
Configuration:
(1) PVC-4910 (SABRE 3D Single module)
(1) KB & Athena remote
(1) Additional (Third) FOUP - 300 mm
(1) RFID Reader (3) FOUP
(1) OHV CA Head-On transmission
(1) LT Front & rear (4) colors
(1) Aligner
(1) (2) APT Duets (4910)
(1) Chemical ADM (TSV Only)
(1) EBR 4910, (2) Duets
(1) TSV Copper
(1) 8 x 0 Config 1 Ba
(1) TF10000 With heater
(4) 300 mm, 1.00 EE, 0.40 mm Cont
(4) Copper TSV process package
(4) Degasser
(1) SABRE 3D Single, 2 APT, 2 EBR/SRD
(4) Cell specific flow meters
(1) NSR 17, NSR 1087310 Pneumatic flow switch
(1) NSR 18, Tool ladder 71-299012-00
(4) 9.5A, 750W Serial
(1) NSR 1, 845-154096-001 Trough vent, ver C
(1) NSR 2, 845-211454-001,KIT,SBR-3D,Bath R
(1) NSR 3, SW CESPTC53073A, Plate, leveling F
(1) NSR 4, Blue900109 BE Robot 8 cell
(1) NSR 5,CESPTC52432A Factory int ionizer
(1) NSR 6, 845-175917-001 8c Video monitor
(4) NSR 7, SW 856-155785-001 Kit UPGRD, TR 4
(1) NSR 8, 845-192680-001 KIT,SBR-3D,1087310
(1) NSR 9, Blue900137, Aligner, vortex,300 mm
(1) NSR 10, SW, 02-414924-02, ASSY,Drip pan,P
(1) NSR 11, SW, 02-443139-02, ASSY,Drip pan
(1) NSR 12, SW, 27-403019-00, Pump DI water
(1) NSR 13, SW, 857-170700-101, KIT,CNTCTR R
(1) NSR 14, SW, 857-170700-102, KIT,CNTCTR R
(1) NSR 15, SW, 856-200391-001, KIT,UPGRD,AI
(1) NSR 16, SW, 856-200391-002, KIT,UPGRD,AI
Currently installed
2015 vintage.
NOVELLUS Sabre 3D是一个革命性的半导体加工反应器，结合了两个关键技术--化学气相沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）。它旨在方便制造半导体制造中所用材料的纤薄层。这种设备在沉积过程中提供了无与伦比的精确度和控制,大大缩短了周期时间和其他可能影响产量的过程成本。Sabre 3D通过使用CVD和ALD的组合进行沉积和蚀刻操作,提供了一个快速、可靠和可重复的过程。它利用由氧气和其他各种惰性气体组成的高功率气源，创造出"单色"和"超净"环境。这允许使用没有表面缺陷或污染的薄膜,从而对沉积过程进行特殊控制。NOVELLUS Sabre 3D反应堆由三个基本模块组成--一个等离子体发生器、一个腔室和一个电源。等离子体发生器是一个微波单元，产生热源的，非热等离子体。这负责分子活化和薄膜沉积在底物上。腔室是一个真空密封的外壳，容纳系统的等离子体和反应堆部分。它旨在保持一个一致、干净的环境以维持一个可重复的过程。电源单元提供正确的电流来点燃和维持等离子体。佩刀3 D反应堆具有广泛的温度范围（从90°C到500 °C），允许它用于多个过程。它还具有先进的自动化和控制功能，包括用于现场过程监测的高精度集成光学单元。这有助于快速识别流程问题,并为流程改进提供快速反馈。最后,NOVELLUS Sabre 3D反应器具有与任何工艺控制机器的简单连接.这样可以进行数据收集、分析和过程优化,以获得最大的正常运行时间和产量。Sabre3D反应器高效、经济高效,具有可靠、可重复的沉积特性.它是高容量、高质量半导体制造的理想解决方桉。
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