二手 NOVELLUS Sabre Next #293704428 待售
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NOVELLUS Sabre NeXT是由NOVELLUS Systems, Inc.开发的超低压化学气相沉积（CVD）反应堆。该设备采用先进技术,用于薄膜在基板上的先进沉积.Sabre NeXT具有高级多源功能,一次最多可使用八个源。这样就可以精确地将多层沉积到基板上，在大型基板上具有极好的均匀性。这一过程是通过一个独特的气体分配系统实现的，该系统精确地控制输送到腔室的气体的数量和方向。NOVELLUS Sabre NeXT具有非常低的压力机制，可以减少原料的凝结损失并提高沉积速率。这也保证了在微粒污染最小的情况下生产均匀且无缺陷的薄膜。SabreNeXT反应器由预室和主沉积室两个主室组成。预室是为沉积前体的溶剂汽化和热解而设计的，而主要的沉积室是为薄膜沉积过程。预室是溶剂汽化沉积前体热解发生的地方，主室是薄膜最终沉积的地方。此外，NOVELLUS Sabre NeXT反应堆具有先进的温度监测和控制能力，在整个沉积过程中确保精确的底物温度。它还有一个均匀的净化装置，用于快速、精确地控制沉积室的净化。高级软件允许轻松修改工艺参数和配方，通过直观的图形用户界面快速调整沉积配方。SabreNeXT是一台功能强大、可靠的CVD机器,为精确控制薄膜的沉积提供了先进的性能和领先的技术。提供优异的薄膜均匀性、出色的晶片内均匀性和晶片对晶片的均匀性，以及优越的整体缺陷控制。适合大批量制造，NOVELLUS佩刀NeXT反应堆是各种研发、工业应用的理想选择。
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