二手 NOVELLUS Sabre Next #9281286 待售

NOVELLUS Sabre Next是一种下一代原子层沉积（ALD）反应器，用于在多种底物上沉积一层或多层的纤薄保形膜。这是利用脉冲气源将物质输送到反应堆室，在那里它们与底物发生反应，导致纳米级薄膜沉积。沉积过程具有很高的可重复性，使得可以精确控制厚度、覆盖范围和组成的薄膜的产生。Sabre Next反应堆将ALD技术与先进的计算机系统和高效的工程相结合，打造出一个提供出色的薄膜性能和可重复性的平台。它包括直观的用户界面控制和自动化的物料处理，以减少操作员的干预和增加吞吐量。反应堆的壳体由几个部分组成，包括一个主室、多个气源的气体输送设备和一个基板支架。反应堆还包括加热系统、冷却单元、真空机和排气工具。NOVELLUS Sabre Next反应堆利用专利的脉冲气体输送资产精确控制沉积。这个模型由一系列磁性成分组成，产生一个场，使反应物脉冲以特定的、可预测的模式传播。这导致了一个均匀的膜沉积，允许一个精确和可重现的组成。Sabre Next还包括自动化的物料处理设备、实时过程监控、多区域设置点以及卓越的容错功能,这些功能可降低过程错误的风险并实现统计过程控制。此外,还可以根据不同的应用程序要求轻松扩展该过程。总体而言，NOVELLUS Sabre Next是下一代先进的ALD反应堆，提供一个或多个纳米级薄膜的可重复、高质量的沉积。适用于多种基材和应用，包括先进的薄膜电子、光学、金属的化学气相沉积。