二手 NOVELLUS Sabre Next #9384191 待售

NOVELLUS Sabre Next是一种下一代高性能PECVD反应堆，专门设计用于满足提高设备性能和特性的需求。它是NOVELLUS系列PECVD工具中的最新产品,旨在优化高级内存、逻辑和RF应用程序中的流程。Sabre Next反应堆提供了许多功能,旨在提高设备的吞吐量和产量。例如，它利用两个行业领先的工艺室对沉积过程中一些最重要的参数提供精确控制，包括腔室压力、沉积速率和一级均匀性。这使得工艺可以根据每个设备的需要量身定制，并在晶圆之间提供高度的工艺一致性。NOVELLUS Sabre Next也允许对气流、压力、温度等工艺参数进行精确调整。这是由一个泵控气体输送系统促进的，该系统确保了一致和稳定的气体流动，同时保持精确的压力和温度稳定性。这使流程能够针对单个设备应用程序轻松调整和优化。此外，Sabre Next集成的纠错和数据跟踪机制让用户能够快速高效地诊断和排除问题。这是通过一系列可以提供系统性能实时诊断的反馈控制算法来实现的。此外,用户还可以通过直观的图形用户界面（GUI）使用这些机制,该界面提供有关流程参数和结果的概览信息。总体而言,NOVELLUS Sabre Next配备了多种功能,旨在最大限度地提高设备性能和产量。其可自定义的流程室和纠错/数据跟踪机制对制造流程的重要方面提供了高度控制,而直观的GUI使用户可以轻松监控和优化流程。Sabre Next是希望在高级内存、逻辑和RF应用程序中提高设备性能和功能的组织的理想工具。