二手 NOVELLUS Sabre XT #293610632 待售
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NOVELLUS Sabre XT是一种先进的蚀刻反应堆，为制造商提供了高精度创建复杂图样的动力。NOVELLUS SABREXT装备了三级离子轰击以实现最大控制，并具有模块化结构。它能够生产特征尺寸从一微米到35纳米的结构。Sabre XT的工具包旨在帮助制造商实现更高的精度,并轻松执行各种复杂的蚀刻过程。离子轰击的第一阶段使用三场步进设备，瞄准所需的底物区域。通过允许对要蚀刻的区域进行特定的选择以及精确实现特征大小和形式,此系统为SABREXT的用户提供了更大的控制,使他们能够创建复杂的模式,并一次又一次地获得更准确的结果。第二阶段的离子轰击蚀刻深处的材料，创造宽度在350纳米和1微米之间的特征。此过程允许制造商满足大批量生产的标准,同时仍能达到所需的特征精度。离子轰击的最后阶段由铜蚀刻组成，可以产生宽度小于35纳米的特征。铜蚀刻提供了更高分辨率的图样,缩短了完成时间。NOVELLUS Sabre XT还配备了自动化工作站和完整的软件，使用户可以自动监控、分析和优化他们的流程，以获得最大的产量和生产力。其先进的"Robustication"控制单元进一步确保了可靠的性能和可重复的结果，即使在蚀刻具有不同光掩模的多层时也是如此。总体而言，NOVELLUS SABREXT是一个先进的蚀刻反应堆，它提供复杂模式的精确蚀刻和最小的人工干预。通过其离子轰击、先进工作站和"机械"控制机三个阶段，制造商可以在大批量生产中实现高分辨率模式。
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