二手 NOVELLUS Sabre XT #293713734 待售
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ID: 293713734
System
(5) PC:
(3) Node computers
Proteus computer
Chase computer
Does not include Hard Disk Drive (HDD).
NOVELLUS Sabre XT是一个反应堆，由一个感应耦合等离子体（ICP）源、一个反应室和可调节气体进料组成，以精确控制过程环境。ICP源利用射频能量产生多个等离子体羽状过程气体，以均匀分布的方式从源向外扩散。等离子体的来源是高度可调的，允许它被量身定制以满足不同等离子体过程的要求。反应室能够快速准确地调节气体和压力，从而对工艺环境进行精确控制。该反应器非常适合许多过程，如CVD、PECVD和等离子体蚀刻。NOVELLUS SABREXT是一个灵活高效的反应堆。它能够承受很宽的温度范围，允许它用于需要较大温度范围的过程。另外，使用可调射频进给可以精确控制等离子体的能量密度。这使得各种材料的薄层（如氧化硅和氮化硅）沉积到基板上的工艺成为可能。这一特性还允许更高效的等离子体蚀刻和清洁基板。佩刀XT反应堆还配备了多种安全功能，以保护用户和设备。它设计用于在非常严格的温度和压力范围内运行,并且在发生工艺错误或故障时可以快速关闭。此外，它还配备了气流传感器，可以对工艺环境进行快速、准确的调整。这确保了任何潜在的有害气体在可能造成任何伤害之前都能迅速从腔室中除去。总体而言，SABREXT反应堆是许多基于等离子体的过程中高效可靠的反应堆。它的可调射频进给允许精确控制等离子体的能量密度，其安全特性提供额外的安心。多种材料和工艺选择使得反应器成为半导体制造的理想选择。此外，快速调整工艺环境的能力确保该工艺保持安全，并确保危险气体的任何潜在羽流迅速从腔室中清除。
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