二手 NOVELLUS Sabre XT #9104570 待售

Lam Research Corporation设计制造的NOVELLUS Sabre XT是下一代原子层沉积（ALD）反应堆。NOVELLUS SABREXT是晶圆製造的一个革命性概念，允许将薄膜涂层沉积在极精确且均匀的层中。ALD用于半导体和高端光学等高精度行业，Sabre XT针对这些目的进行了优化。SABREXT的核心架构以等离子增强ALD （PEALD）设计为基础，使其能够在当今先进的制造环境中应对独特的挑战。反应堆配备了多步温度控制、高沉积速率、化学前体输送等一系列工艺能力。它还可以处理热和紫外线退火、旋转涂层、溶剂退火等标准工艺需求。NOVELLUS Sabre XT旨在提供准确和可重复的沉积结果。其精密控制的等离子体源在500至5,000瓦之间，其分布式温度控制系统使得晶圆之间的温度能够精确的均匀。此外，它的高精度喷嘴能够精确控制化学前体的输送。说到底线，NOVELLUS SABREXT还提供大幅缩短的工艺周期时间和减少废品，在质量上毫不妥协。其灵活的设计和较高的处理速度允许缩短产品上市时间。其先进的工艺控制系统可提高产量和降低材料成本,其自动化监控系统可减少制造过程中的人工干预。总而言之，Sabre XT ALD反应堆拥有一整套先进的特性和功能，为半导体和光学行业提供了显着的优势。它提供的精确度和准确性与当今市场上没有的其他ALD系统一样,能够缩短产品上市时间和减少废品,而不会影响质量。