二手 NOVELLUS Sabre XT #9146195 待售

NOVELLUS Sabre XT是一种单晶圆、多反应堆设备，设计用于满足超大型器件制造行业日益加剧的需求。借助IGBT、MOSFET、GaN或其他设备,NOVELLUS SABREXT能够在各种晶圆尺寸上提供最佳性能,包括最新3DIC先进的封装。Sabre XT拥有获得专利的多反应堆设计，允许在单一工具中进行多次沉积、蚀刻和植入过程。创新的反应堆设计允许晶片并行加工而不会交叉污染，同时操作多个加工工具。除了在单个晶片上提供更高的吞吐量外，SABREXT还可以在单个配方内处理多个晶片。这种溷合制造方式允许批量生产具有单晶圆性能的灵活性。NOVELLUS Sabre XT有一个先进的多区域真空系统，允许在腔室的所有区域有一个受控的环境，包括温度和压力控制。此功能旨在优化处理速率,并具有多个真空区域,以减少污染并最大限度地减少抽水作业所需的时间。NOVELLUS SABREXT还配备了先进的监控系统，包括监控过程各个方面包括气压、晶圆温度、腔室压力等等的软件工具。监测可以对反应堆在处理之前和过程中的状况进行快速和准确的评估。最后,Sabre XT旨在为高级沉积级别（包括HDP、CVD、ALD、PECVD等）提供理想的平台。SABREXT以其多反应堆配置，能够处理最苛刻的沉积需求，始终如一地提供卓越的均匀性和可重复性。总之，NOVELLUS Sabre XT是为了满足超大型设备制造业的需求而设计的。NOVELLUS SABREXT凭借其专利的多反应堆设计、先进的多区真空装置和先进的监控系统，能够为广泛的应用提供全面的解决方桉。对于那些需要高性能、多反应堆沉积机的制造商来说，Sabre XT是理想的解决方桉。