二手 NOVELLUS Sabre XT #9183435 待售

NOVELLUS Sabre XT Reactor是一种强健、高性能的化学气相沉积（CVD）应用反应堆。它非常适合先进的晶圆制造，包括增强的器件几何形状和苛刻的金属沉积要求。NOVELLUS SABREXT Reactor是具有电子回旋共振（ECR）等离子体源技术的高生产力双区热壁CVD系统。这项技术产生了非常均匀的等离子体分布，以确保均匀的层和先进的掺杂物轮廓独立于底物尺寸。Sabre XT反应堆保证了快速的增长速度，并实现了快速的工艺设置时间。SABREXT反应堆是为满足最苛刻的工艺要求而设计的，它是为特殊的工艺控制和可重复性而设计的。它拥有先进的过程控制技术,如双区域压力控制、基于配方的转向和光谱现场表征,从而实现了最准确、最高效的过程控制。NOVELLUS Sabre XT反应堆提供卓越的晶圆均匀性,具有先进的器件尺寸耐受性,并通过使工艺优化超出常规反应堆设计的范围而获得卓越的氧化物质量。它提供了对层厚度、平滑度和组成均匀性的卓越控制,而不会影响吞吐量。此外,NOVELLUS SABREXT还提供了具有先进集成射频源的灵活双端点掺杂,以及高度可靠的快速热和光学晶圆温度测量和严格控制。所有这些特性使得Sabre XT反应器非常适合大容量制造最先进的应用，如磁性随机存取存储器（MRAM）、动态随机存取存储器（DRAM）和非易失性存储器（NVM）。因此，由于SABREXT反应堆的尖端特性，它是高产、高质量CVD工艺的理想选择。NOVELLUS Sabre XT具有卓越的工艺可重复性,提高了晶圆加工的均匀性和准确性,使NOVELLUS Sabre XT成为具有挑战性的原型设计项目的高可靠性和经济效益的解决方桉。