二手 NOVELLUS Sabre #9285084 待售

NOVELLUS Sabre是一种最先进的高性能反应堆，设计用于先进的蚀刻和沉积应用。凭借创新的工艺设计、先进的材料和智能自动化,它能够提供卓越的工艺一致性、可重复性、产量和生产率。该设备以氢气和氙气为基础的感应耦合等离子体（ICP）源为基础，该源提供了均质且不受约束的等离子体源，最大生产吞吐量。ICP源与动态配置的原位等离子体反射计（ISPR）结合使用，可获得准确和瞬时的等离子体读数，从而能够对蚀刻和沉积过程进行准确的实时监测和反馈。Sabre的创新工艺设计还允许最多六个工艺模块同时编入反应堆，每个模块都有自己的一套参数。这使得使用一台机器优化多个流程步骤成为可能,而不是在单个流程室内使用多个流程系统。NOVELLUS Sabre还具有灵活的腔室架构，使其能够针对广泛的蚀刻和沉积应用进行定制。多功能腔室设计采用了不同的数值孔径光学器件、波导载流子和工艺百叶窗，实现了高沉积速率和低粒子生成。该系统还设有模块化的过程控制单元，使用户无需任何重大的工具检修即可轻松修改和升级反应堆机器。此外,用户还可以利用其高级诊断套件和预测性维护资产,深入了解模型性能并最大限度地提高正常运行时间。最后,Sabre的高级自动化功能使用户能够对可重复的过程进行编程,以实现高容量吞吐量。通过利用复杂的算法,设备可以设计和优化每个工艺配方,以提高产量和生产吞吐量,同时降低成本和能耗。总而言之，NOVELLUS Sabre是一个先进的反应堆系统，可以量身定制以满足任何蚀刻和沉积应用的需要。凭借其高性能等离子体源、工艺灵活性和自动化特性，Sabre真正是一个最先进的单元，非常适合高容量、高产量的生产应用。