二手 NOVELLUS Sabre #9299039 待售

NOVELLUS Sabre是一种高性能、精密的反应器，旨在将薄膜材料沉积在基板上。该反应器用于微芯片制造中的薄膜沉积工艺，通常称为"金属沉积"。Sabre是一种先进的分子束外延（MBE）工具，使制造商能够实现对过程中沉积材料的精确控制。NOVELLUS Sabre的设计基于线性二甲基毯子分子束外延反应堆（LDB-MBE）。这种突破性的设备不需要入口窗口，导致更高的产量和更少的颗粒污染。此外，采用双室系统设计可确保更高的稳定性和更高的沉积速率。佩剑是由两个主室构成的：下部加工室（LPC）和上部加工室（UPC）。LPC中包含了枪罐、crucibles和沉积源材料。枪托又称电子回旋共振微波频源，产生高能原子束，定向到基板表面进行沉积过程。Crucibles made from refactory alloy and hold the liquid source in them.UPC由加热/冷却屏蔽（H/C屏蔽）、基板支架和排气管组成。H/C屏蔽用于保持沉积过程中基板的温度控制。基板支架具有同时容纳多个晶片的能力，并自动将其平整以进行均匀涂层。排气管增加了额外的控制，防止碎屑和废气进入沉积区。NOVELLUS Sabre反应堆还具有石英沉积带和熔石压力控制，提供了薄膜沉积的均匀性，创造了可重现的结果。为了最大程度地提高安全性，设立了一个完全惰性气体装置，其作用是减少沉积过程中有害气体的存在，如臭氧或氢氧化物。佩刀反应堆是先进微芯片制造工艺的理想工具。最新的技术与精密工程技术相结合，使制造商能够获得可重现的效果以及高质量、均匀的沉积膜。有了这台多功能机器,制造商就可以从提高生产的准确性、安全性和效率中获益。