二手 NOVELLUS Sabre #9299776 待售

NOVELLUS Sabre是专门为半导体加工而设计的反应堆。用于薄膜材料在复杂集成电路和微机电系统（MEMS）中的沉积。Sabre是一种批处理类型的过程，意味着用户可以在给定的时间处理大量的基材，这使其比传统的批处理类型的机器有很大的优势。它是一个封闭的系统，具有全自动气体分配和控制模块。NOVELLUS Sabre采用高速、多枪、自动选择沉积工艺。这一过程使得多层薄膜材料，如绝缘体、金属和有机材料能够沉积在基板上。佩刀提供了对沉积过程的精确控制，使其成为复杂过程的理想选择。反应堆具有两个截然不同的过程室，包括一个高临时室和一个低临时室。高温室允许薄膜沉积和化学气相沉积过程所需的极端温度。低温室温度较低，可用于溶胶-凝胶和自旋过程。反应堆还设有自动晶片加载系统，确保晶片精确均匀地加载到基板支架上。加热晶片支架能够在整个沉积过程中精确保持温度，从而确保晶片性能的最佳。整个过程可以通过独特的NOVELLUS软件包进行监控，确保每次都有准确的结果。NOVELLUS Sabre具有独特的双喷嘴设计，能够实现两个平行沉积过程，可以并行使用。这种技术确保沉积材料符合适当沉积的所有要求。此外，反应堆还配备了高温积液源，可用于保形涂层和材料沉积等复杂过程。总之，佩刀是一个强大、高效、高度可靠的反应堆，能够生产复杂、功能强大的集成装置。它满足了现代半导体加工的所有要求，并提供精确的控制和监控。因此，这种反应堆是任何半导体制造设施的宝贵工具。