二手 NOVELLUS Speed #9262058 待售

NOVELLUS Speed是由NOVELLUS Systems, Inc开发的先进反应堆技术。它是一个高性能反应堆，旨在在先进的半导体制造业中实现更快、更具成本效益的工艺和生产。这座反应堆采用先进的地形方法，以高效的方式处理晶片，以提高整体吞吐量。反应堆由一系列工艺室组成，旨在为当今最复杂的制造工艺提供更高的吞吐量。这包括化学机械平面化（CMP）、半导体薄膜沉积、喷嘴基蚀刻、等离子体蚀刻和晶片清洗等工艺。Speed的核心是地形均匀晶圆运动（TUWM）晶圆传输技术。这项技术利用精确的限制系统与自动运动跟踪相结合，使晶圆保持在腔内。这样可以确保沉积过程中的阵列形状一致。此外，TUWM晶圆传输技术最大限度地减少了均匀性指数内的波动，减少了对腔室清洁的需要，并减少了潜在的颗粒污染。NOVELLUS Speed Reactor还利用自由基等离子体源（RPS）产生针对各种工艺要求优化的等离子体。这就产生了强大、高效的等离子体，以实现高分辨率的过程。RPS还结合了可调谐功率控制能力，使反应堆能够调谐到腔室内的过程。先进的Speed反应堆还利用先进的温度控制来确保腔室内的一致性。这样可以确保工艺室在整个处理周期中提供一致的结果。这些组件的组合使NOVELLUS Speed Reactor能够以更低的成本提供更快的吞吐量和更高的产品产量。总体而言,Speed是一项革命性的先进制造技术,旨在提高制造吞吐量。该反应堆依靠先进技术的结合应用，如地形均匀晶圆运动、自由基等离子体源和最优温度控制，提供一致、高质量的制造工艺。因此,这项技术为半导体制造行业提供了更快、更高效和更具成本效益的生产。