二手 NOVELLUS Speed #9262827 待售

NOVELLUS Speed是一种先进的化学气相沉积（CVD）反应器，为高生产率和薄膜质量而设计。它是一种先进的沉积设备，利用多种CVD气体同时产生比手动系统更薄、更密集、更一致的沉积层。这种革命性的反应堆先进的设计和能力，允许高层沉积速率，高通量和优越的晶圆均匀性。速度由脉冲等离子体功率和输送系统提供动力。这个单元能够产生从低到高的广泛的等离子体气体功率和压力。这样可以确保沉积得到精确控制，并产生质量最高的层。集成等离子体源发生器利用脉冲频率和占空比，确保正确的功率和压力传递到反应堆腔室，以实现所期望的过程结果。NOVELLUS Speed的ED石墨磁控管溅射（GMS）可实现额外的沉积技术,包括反应性溅射、多层和湿蚀。GMS能够产生更高密度的层，增加沉积速率和提高沉积均匀性，同时减少材料浪费。与传统的磁控管溅射系统相比，GMS提供了高达十倍的电离效率。Speed还配备了先进的工艺监测机，能够准确测量工艺参数，能够快速、轻松地检测异常工艺状况。该工具实时跟踪每个反应堆腔室的沉积速率、薄膜厚度、污染程度以及许多其他参数。NOVELLUS Speed使用Ebonite微波技术，确保从晶圆到晶圆的气体流动和沉积均匀。该技术利用先进的微波发生器探针，在射频室内产生均匀的微波等离子体场，从而使沉积更均匀，并获得更高质量、更厚的薄膜。这种微波等离子体还具有为先进的设备结构和设计轻松地对薄膜层进行图桉化的能力。Speed标配了许多自动化功能,例如自动执行标准配方的气体溷合资产、跟踪配方更改的在线配方修改模型,以及持续测试排气系统泄漏的实时泄漏检测设备。NOVELLUS Speed还提供了先进的自我清洁功能，能够确保卓越的室内清洁。由于其先进的设计、高效的电源和输送系统、统一的微波等离子体场以及自动化的安全和过程监控系统,速度提供了卓越的沉积性能。NOVELLUS Speed非常适合低成本、高产量的沉积，是推进先进制造工艺的真正领导者。