二手 NOVELLUS Speed #9272639 待售

NOVELLUS Speed是专门为半导体器件制造而设计的高速化学气相沉积（CVD）反应器。其创新的设计，使得快速多步骤沉积与扩展的过程窗口。这为用户提供了应用多种材料和工艺技术构建复杂集成电路的灵活性。NOVELLUS Speed Reactor旨在利用CVD技术的最新进展，提供高效可靠的沉积工艺。它包含单级、高速磁控管增强型等离子体源。该源利用变频和高峰值功率以及射频匹配功能来确保受控涂层工艺。NOVELLUS Speed Reactor能够在Speed中同时沉积高浓度和低浓度的材料,同时在整个晶圆表面提供均匀性。为了提高沉积均匀性，NOVELLUS Speed反应堆安装了双级基板加热器。该加热器与磁控管串联工作，在整个反应堆腔室内保持一个均匀的温度。第一级加热器将基板加热至所需沉积温度，而第二级加热器则根据需要调节温度。为提高工艺稳定性，Speed Reactor配备了独特的多区工艺控制系统。该系统根据需要自动调整反应物和其他工艺参数的水平，以前所未有的方式优化工艺。将多区域流程控制系统与高级诊断程序结合起来,可以在不中断处理的情况下即时进行调整。NOVELLUS Speed Reactor还包括先进的反应物输送系统，能够以受控浓度对各种材料进行高速率沉积。这些输送系统旨在以可重复的方式快速提供精确的反应物浓度。此外，交付系统还配备了自动化的顺序反应物交付，允许在单个工具中进行多步骤处理。速度反应器是半导体器件制造的理想工具.它提供了NOVELLUS Speed,并且灵活地需要快速构建极其复杂的集成电路,并具有卓越的可重复性和统一性。Speed Reactor凭借其创新的设计和先进的技术，是寻求可靠高效的CVD沉积工艺的人们的最佳选择。