二手 NOVELLUS SYSTEM CONCEPT 2 INOVA #9032880 待售

NOVELLUS Equipment CONCEPT 2 INOVA是一种高度先进、创新的并行工艺沉积系统,具有先进的工艺技术,可在各种不同的晶圆类型上提供高速率和优异的保形性。该单元利用一个平台内的三个并行、独立和集成的有限处理室提供卓越的工艺能力、质量和可重复性。CONCEPT 2 INOVA利用物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）和低压化学气相沉积（LPCVD）工艺的最新发展。三个燃烧室中的每一个都独立于其他燃烧室，同时仍对反应堆的整体性能作出贡献。每个腔室都配有自己的微波源，允许在每个晶片上沉积独立和优化的层。NOVELLUS Machine CONCEPT 2 INOVA提供了控制技术的重大改进,允许对沉积环境进行精确控制。该工具采用了最先进的自动化功能,为用户提供了完全集成和自动化。自动化的机器操作提高了吞吐量并降低了成本,同时提供了预期的可靠且可重复的过程结果。CONCEPT 2 INOVA利用几项先进技术提高了效率和吞吐量。这些技术包括高效的双预室配置,允许优化气体流动。磁性快门技术提供了对气云的精确控制，并为高分辨率表面提供了精确的气束控制。NOVELLUS ASSET CONCEPT 2 INOVA也有一个高精度的电弧射流室，允许高分辨率结构的精确控制沉积。CONCEPT 2 INOVA是一个多功能工艺平台，能够同时进行氧化物、氮化物、金属、CMP工艺等工艺。它还提供多种沉积选项，如亚自动取款机、超低压和高压操作模式。该模型具有根据任何特定客户或应用程序要求进行配置的灵活性。除了提供卓越的流程和集成功能外,NOVELLUS Equipment CONCEPT 2 INOVA还提供了一套广泛的诊断工具,让操作员全面了解流程。对所有操作和参数的内置监控使操作员能够比以往任何时候都更早地检测过程中的波动和异常。此外，内置的过程控制系统可确保可重复的过程结果以及加工结果的准确性和稳定性。CONCEPT 2 INOVA提供了一整套功能,使其成为任何现代先进工艺制造环境的理想解决方桉。凭借强大可靠的性能,NOVELLUS Unit CONCEPT 2 INOVA提供了经济实惠、用途广泛且可靠的解决方桉,以满足任何现代沉积工艺的需求。