二手 OERLIKON / LEYBOLD KAI 1200 #293665785 待售

OERLIKON/LEYBOLD KAI 1200是一种高温化学气相沉积（CVD）反应器，为最大的灵活性和过程控制而设计。这种先进的反应堆设备能够在各种基材上沉积具有均匀性、高均匀性、质量最高的精细工程膜。LEYBOLD KAI 1200适用于要求在200Å至400Å范围内均匀沉积的应用。OERLIKON KAI 1200基于低温冷壁室设计，将污染降至最低，并允许超快冷却时间。该系统的特点是反应门设计优化，反应通量无限可调，温度范围为-50C°至1600°C。电源单元配备了多种电源，包括直流、脉冲直流、射频电源，允许对热过程进行精确控制。KAI 1200的先进结构设计使得在大基板区域上可以均匀沉积薄膜。一个自动基板交换功能，搭配极短的冷却时间，使得在不同基板之间快速可靠地切换成为可能。该机还设计了一个独立的排气工具和气体流量控制每个工艺室，确保清洁和最佳的工艺环境。OERLIKON/LEYBOLD KAI 1200设计方便用户且易于操作。它包括一个全面的显示资产与触摸面板，通过图形用户界面（GUI）操作。此外,它还具有广泛的安全功能,从真空损耗检测到过压保护。此外，该模型可通过计算机化控制进行编程，允许可重复的过程参数和性能。总之，LEYBOLD KAI 1200是一种先进的高温CVD反应器，设计用于最大程度的工艺控制和均匀的薄膜沉积。其低温冷壁室设计、优化反应闸门设计、温度范围、综合显示设备，使工艺效率最高。该系统还包括一系列安全特性、可编程控制，以及一个便于基板加工的自动基板交换功能。