二手 OERLIKON / LEYBOLD KAI 1200 #9300286 待售

OERLIKON/LEYBOLD KAI 1200是设计用于研发以及商业和工业应用的热堆。该设备有两个组件：介电射频发生器和气体输送系统。介电射频发生器用于感应用于制造高能等离子体材料的高频电磁场，允许对工艺参数进行精确控制。它具有精确的频率和参数控制、高效率和温度均匀性。气体输送装置旨在向反应堆提供有效的受控反应物气体供应。它利用一个多级组合调节阀和调节器运行关闭一个常见的机电控制单元。这允许在广泛的压力和流量设置范围内精确控制反应物气体。该机还允许完全安全，内置超压保护装置和其他安全功能。LEYBOLD KAI 1200还设有一个清洁室，它使用过滤器在进入反应堆前清除反应物气体中的颗粒，以提高性能。反应堆还配备了光学高温计，用于评估射频线圈表面的温度。OERLIKON KAI 1200设计用于聚合物、氮化物、氧化物和金属等材料的沉积、蚀刻和表面改性等应用。可用于多种不同的工艺配方，如等离子体蚀刻、金属氮化、薄膜沉积等。该工具可在广泛的工作压力、温度和沉积速率下使用，使其适合于许多不同的应用。KAI 1200是一种多功能、高性能、安全的反应资产,非常适合电子、航天、汽车和医疗等行业中需要精确材料加工的应用。